德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-562.3CDP-562.3CL

型号：P-562.3CDP-562.3CL

PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统，闭环行程：200×200×200微米

集成传感器：电容式

-20至120伏时的开环行程：300×300×300微米

分辨率，开环：0.4纳米

分辨率，闭环：1纳米

线性误差：0.03%

X/Y/Z向上的重复精度：37291纳米

X、Y向上的螺距：±2微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：±20微弧度

X、Y向上的偏转角：±10微弧度

X、Y向上的平面度：±20纳米

X、Y向上的串扰（Z向运动）：±50纳米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：160/160/315赫兹

带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：145/145/275赫兹

带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：130/130/195赫兹

负载容量：5千克

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-562.3CDP-562.3CL