德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-561.3DD

型号：P-561.3DD

PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统，闭环行程：45×45×15，直接驱动微米

集成传感器：电容式

-20至120伏时的开环行程：58×58×18微米

分辨率，开环：0.1纳米

分辨率，闭环：0.2纳米

线性误差：0.01%

X/Y/Z向上的重复精度：37289纳米

X、Y向上的螺距：±3微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：±3微弧度

X、Y向上的偏转角：±3微弧度

X、Y向上的平面度：±10纳米

X、Y向上的串扰（Z向运动）：±20纳米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：920/920/1050赫兹

带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：860/860/950赫兹

带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：500/500/470赫兹

负载容量：5千克

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-561.3DD