产品参数：
型号：P-558.ZCDP-558.ZCL
主动轴：Z
集成传感器：电容式
-20至120伏时Z向上的开环行程：60微米
θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：–毫弧度
Z向上的闭环行程：50微米
θX、θY向上的闭环偏摆角：–毫弧度
Z向上的开环分辨率：0.2纳米
θX、θY向上的开环分辨率：–微弧度
Z向上的闭环分辨率：0.5纳米
θX、θY向上的闭环分辨率：–微弧度
θX、θY向上的线性误差：–%
Z向上的重复精度：±5纳米
θX、θY向上的重复精度：–微弧度
θZ向上的串扰（Z向运动）：<10微弧度
θX、θY向上的串扰（Z向运动）：<50微弧度
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