德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-541.TSL

型号：P-541.TSL

主动轴：Z,θX,θY

集成传感器：应变片传感器

-20至120伏时Z向上的开环行程：150微米

θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±0.6毫弧度

Z向上的闭环行程：100微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：±0.4毫弧度

Z向上的分辨率，开环：0.2纳米

θX、θY向上的开环分辨率：0.02微弧度

Z向上的闭环分辨率：2.5纳米

θX、θY向上的闭环分辨率：0.25微弧度

Z、θX、θY向上的线性误差：0.2%

Z向上的重复精度：<10纳米

θX、θY向上的重复精度：0.05微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：±15微弧度

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-541.TSL