德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-541.20L/P-542.20L

型号：P-541.20L/P-542.20L

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：开环为0.2/0.4纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47/0.4牛/微米

谐振频率，空载：255/230赫兹

带100克负载时的谐振频率：200/190赫兹

带200克负载时的谐振频率：180/–赫兹

带300克负载时的谐振频率：150/145赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-541.20L/P-542.20L

应用领域：

扫描显微镜

高吞吐量显微镜

超分辨率显微镜

掩模/晶圆定位

干涉测量

测量技术

生物技术

显微操纵

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-541.20L/P-542.20L

应用领域：

扫描显微镜

高吞吐量显微镜

超分辨率显微镜

掩模/晶圆定位

干涉测量

测量技术

生物技术

显微操纵

型号：P-541.20L/P-542.20L

主动轴：X,Y

分辨率，开环/闭环：开环为0.2/0.4纳米

螺距：<5微弧度

偏转角：<10微弧度

运动方向上的刚性：0.47/0.4牛/微米

谐振频率，空载：255/230赫兹

带100克负载时的谐振频率：200/190赫兹

带200克负载时的谐振频率：180/–赫兹

带300克负载时的谐振频率：150/145赫兹

运动方向上的推/拉力：100/30牛

负载容量：20牛