德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台型号 P-518.TCD

型号：P-518.TCD

主动轴：Z,θX,θY

集成传感器：电容式

-20至120伏时Z向上的开环行程：140微米

θX、θY向上-20至120伏时的开环偏摆角：±0.7毫弧度

Z向上的闭环行程：100微米

θX、θY向上的闭环偏摆角：±0.5毫弧度

Z向上的开环分辨率：0.4纳米

θX、θY向上的开环分辨率：0.04微弧度

Z向上的闭环分辨率：0.8纳米

θX、θY向上的闭环分辨率：0.05微弧度

θX、θY向上的线性误差：0.03%

Z向上的重复精度：±5纳米

θX、θY向上的重复精度：±0.05微弧度

θZ向上的串扰（Z向运动）：<10微弧度

θX、θY向上的串扰（Z向运动）：<50微弧度

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 位移台 型号 P-518.TCD